Разработка технологии вакуумного осаждения для серийного производства гибких фотоэлектрических модулей на основе сульфида и теллурида кадмия

Проект выполнялся в рамках ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014 – 2021 годы», Соглашение № 14.607.21.0137 с 27.10.2015 по 31.12.2017

В рамках ПНИ разработана технология вакуумного осаждения методами конденсации из квазизамкнутого объема и нереактивного магнетронного распыления на постоянном токе экспериментальных образцов гибких пленочных фотоэлектрических преобразователей (ФЭП) «тыльной» конфигурации на основе сульфида и теллурида кадмия.

Разработана технология изготовления гибких фотоэлектрических модулей (ФЭМ).

Разработан экспериментальный образец автоматизированной вакуумной установки для изготовления базовой гетеросистемы на основе сульфида и теллурида кадмия на гибкой термостабильной полиимидной пленке методом конденсации из квазизамкнутого объема (КЗО).

Разработан экспериментальный образец автоматизированной вакуумной установки для изготовления базовой гетеросистемы на основе сульфида и теллурида кадмия на гибкой термостабильной полиимидной пленке методом нереактивного магнетронного распыления на постоянном токе (МРТ).

Заказчик – Минобрнауки Российской Федерации

Получатель субсидии – Государственный университет «Дубна»

Соисполнитель – ООО «Научное предприятие «Цезис»

Индустриальный партнёр – ЗАО «МПОТК «ТЕХНОКОМПЛЕКТ»